用于多晶硅反应器的清洁工具

摘要

本发明提供了用于清洁多晶硅生产中使用的化学气相沉积反应器钟形壳的内表面的系统和方法。在一种方法中，将所述反应器钟形壳设置在一框架上；操作第一致动器，以使刷子与反应器钟形壳的内表面接合。将液体流从喷嘴引向反应器钟形壳的内表面，以及操作第二致动器以转动所述刷子。

主权项

一种用于清洁化学气相沉积反应器钟形壳的内表面的系统，所述系统包括：设置在所述反应器钟形壳的下方并且连接到所述反应器钟形壳的凸缘的框架；连接到所述框架的致动机构，所述致动机构构造成在所述反应器钟形壳连接到所述框架时，在所述反应器钟形壳的内部空间内作垂直及转动运动；与所述致动机构连接的至少一个刷子，所述刷子构造成与所述反应器钟形壳的内表面接触；连接到所述致动机构的至少一个喷嘴，所述喷嘴构造成将液体流引向所述反应器钟形壳的内表面；和所述反应器钟形壳内的线性致动器，所述线性致动器将所述至少一个刷子连接到所述致动机构以用于刷子垂直于所述反应器钟形壳的纵向轴线的运动。