用于硅片加工设备的过滤桶冲洗装置

摘要

本发明公开了一种用于硅片加工设备的过滤桶冲洗装置，包括支架、设置于所述支架底部的浆料回收装置、设置于所述支架中上部的用于支撑待冲洗过滤桶的支撑装置、与所述支撑装置连接的传动系统、设置在所述浆料回收装置和所述支撑装置之间的碎硅片回收装置以及用于冲洗所述过滤桶的高压水枪；所述碎硅片回收装置中设置有滤网；所述传动系统上设置有位于所述支架外部的手柄，所述手柄能够带动所述支撑装置和所述过滤桶转动。本发明所提供的过滤桶冲洗装置实现了碎硅片和浆料的回收再利用，有助于降低生产成本，且冲洗过程简单方便，不需要操作人员与过滤桶直接接触，只需转动手柄便可实现对过滤桶的冲洗，显著减少了操作人员的劳动量。

主权项

一种用于硅片加工设备的过滤桶冲洗装置，其特征在于，包括支架、设置于所述支架底部的浆料回收装置、设置于所述支架中上部的用于支撑待冲洗过滤桶的支撑装置、与所述支撑装置连接的传动系统以及设置在所述浆料回收装置和所述支撑装置之间的碎硅片回收装置；在所述碎硅片回收装置的底部连接有用于过滤浆料的滤网；所述传动系统上设置有位于所述支架外部的手柄，所述传动系统包括主动皮带轮、从动皮带轮以及相配合的皮带，所述主动皮带轮与所述从动皮带轮设置在同一水平面上，所述手柄连接在所述主动皮带轮上，所述从动皮带轮上连接有竖直设置的转轴，所述支撑装置套装在所述转轴的外部，并与所述转轴同轴设置，以便通过旋转所述手柄带动所述支撑装置和所述过滤桶转动；所述过滤桶冲洗装置进一步包括用于冲洗所述过滤桶的高压水枪。