用于形成具有选择性射极的太阳能电池的方法和装置

摘要

本发明提供用于形成具有选择性射极的太阳能电池的方法和装置。方法包括在基板接收表面上放置基板。基板的表面包括第一图案化重掺杂区域，第一图案重掺杂区域具有第一掺杂浓度且限定选择性射极，基板的表面还包括第二掺杂射极区域，第二掺杂射极区域具有小于第一掺杂浓度的第二掺杂浓度，其中第二掺杂射极区域环绕第一图案化重掺杂区域。此方法还包括通过使用傅里叶变换来处理经滤波的光学图像以确定第一图案化重掺杂区域的位置，通过使用从第一图案化重掺杂区域的确定的位置所接收的信息将丝网印刷掩模中的一个或多个区别性特征对准第一图案化重掺杂区域，以及在第一图案化重掺杂区域的一部分上沉积材料层。

主权项

一种形成具选择性射极的太阳能电池的方法，其包括如下步骤：在基板接收表面上放置基板，其中所述基板具有表面，所述表面包括：至少第一图案化重掺杂区域，所述第一图案重掺杂区域形成在所述表面上并具有第一掺杂浓度，所述第一掺杂浓度限定所述选择性射极；以及第二掺杂射极区域，所述第二掺杂射极区域具有小于所述第一掺杂浓度的第二掺杂浓度，其中所述第二掺杂射极区域围绕所述第一图案化重掺杂区域；确定所述第一图案化重掺杂区域在所述基板上的位置，其中确定所述位置的步骤包括：获取所述表面的一部分的光学图像；对所述光学图像进行光学滤波；使用傅里叶变换来处理经滤波的光学图像；以及评价所述第一图案化重掺杂区域和所述第二掺杂射极区域在经滤波且傅里叶变换的光学图像中的对比度，以确定所述第一图案化重掺杂区域的位置；通过使用从所述第一图案化重掺杂区域在所述基板上的确定的位置所接收的信息，将丝网印刷掩模中的一个或多个区别性特征对准所述第一图案化重掺杂区域；以及在所述第一图案化重掺杂区域的至少一部分上沉积材料层。