发明名称 半导体装置的制造中使用的粘接片、切割带一体型粘接片、半导体装置、以及半导体装置的制造方法
摘要 本发明涉及一种粘接片,其为半导体装置的制造中使用的粘接片,所述粘接片含有平均粒径为0.3μm以下的填料和丙烯酸类树脂,填料的含量相对于粘接片整体在20~45重量%的范围内,丙烯酸类树脂的含量相对于全部树脂成分在40~70重量%的范围内。
申请公布号 CN105102566A 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201480020512.2 申请日期 2014.04.03
申请人 日东电工株式会社 发明人 志贺豪士;高本尚英
分类号 C09J7/02(2006.01)I;C09J11/04(2006.01)I;C09J133/00(2006.01)I;H01L21/301(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L23/29(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I 主分类号 C09J7/02(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 一种粘接片,其特征在于,其为半导体装置的制造中使用的粘接片,所述粘接片含有平均粒径为0.3μm以下的填料和丙烯酸类树脂,所述填料的含量相对于粘接片整体在20~45重量%的范围内,所述丙烯酸类树脂的含量相对于全部树脂成分在40~70重量%的范围内。
地址 日本大阪府