| 发明名称 | 具有滚轧成型表面的基座和制造所述基座的方法 | ||
| 摘要 | 本发明一般地提供用于在等离子体反应器中支撑大面积基板的装置。在一个实施例中，在等离子体反应器中使用的一基板支撑件包括一导电主体，该导电主体包括一顶面，所述顶面具有多个滚轧成型的压印。 | ||
| 申请公布号 | CN101978473B | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN200980109686.5 | 申请日期 | 2009.03.18 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 古田学;戴维·阿奇利;崔寿永;约翰·M·怀特 |
| 分类号 | H01L21/205(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/205(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;钟强 |
| 主权项 | 一种在一等离子体反应器中使用的基板支撑件，包括：一导电铝主体，被配置为该等离子体反应器的一电极，其中该导电铝主体具有一顶面，所述顶面被配置为支撑一大面积基板，并提供热能给该大面积基板，该顶面具有一阵列的压印，所述压印具有底部，其中所述压印被压印在所述顶面上并布置成跨所述顶面的大部分的重复格状图案；和加热元件，所述加热元件被设置在所述导电铝主体中，其中通过包含多个重复格状图案突起的滚轧成型头对所述顶面进行滚轧成型形成所述阵列的压印。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||