旋转速率传感器

摘要

旋转速率传感器包括：具有衬底表面的衬底；设置在该衬底表面上面的第一活动元件，该第一活动元件具有驱动框架和第一检测质量；第一电极和第二电极，该第一电极在该第一检测质量下方间隔距离地设置并且与该衬底表面连接，该第二电极在该第一检测质量上方间隔距离地设置并且与该衬底表面连接。在此，该驱动框架通过至少一个驱动弹簧与该衬底连接，该检测质量通过至少一个检测弹簧与该驱动框架连接，该第一活动元件能被激励至平行于该衬底表面的驱动振动，并且该第一检测质量能垂直于该衬底表面偏移。

主权项

一种旋转速率传感器(100)，包括：具有衬底表面(190)的衬底，设置在该衬底表面(190)上面的第一活动元件(110)，该第一活动元件具有驱动框架(120，520)和第一检测质量(130)，第一电极(210)和第二电极(220)，该第一电极在该第一检测质量(130)下方间隔距离地设置并且与该衬底表面(190)连接，该第二电极在该第一检测质量(130)上方间隔距离地设置并且与该衬底表面(190)连接，其中，该驱动框架(120，520)通过至少一个驱动弹簧(140)与该衬底连接，该检测质量(130)通过至少一个检测弹簧(180，680)与该驱动框架(120，520)连接，该第一活动元件(110)能被激励至平行于该衬底表面(190)的驱动振动，并且该第一检测质量(130)能垂直于该衬底表面(190)偏移，其中，该第一活动元件(110)具有至少一个穿孔(280)，该第二电极(220)通过所述穿孔(280)在一固定点(285)与该衬底表面(190)连接。