利用多重光束及各适当的雷射光学头的雷射制程

摘要

本发明公开了一种用于雷射雕刻装置的雷射头(10)，包括绕射光学组件(11)、聚焦物镜(13)及调整组件(21)，其中绕射光学组件(11)及聚焦物镜(13)设置在共同光学轴(16)上且彼此分隔，且调整组件(21)用于在正交光学轴(16)的第三平面上旋转绕射光学组件(11)。本发明可减少薄膜太阳能电池的漏电。

主权项

一种用于雷射雕刻装置的雷射光学头(10)，包括绕射光学组件(11)，聚焦物镜(13)，以及调整组件(21)，其中所述绕射光学组件(11)及所述聚焦物镜(13)在共同光学轴(16)上彼此间隔设置，所述调整组件(21)用于在正交于所述光学轴(16)的第三平面上旋转所述绕射光学组件(11)，至少所述绕射光学组件(11)及所述聚焦物镜(13)包含在接合外壳中，所述接合外壳包括用以降低所述接合外壳对环境改变所造成的热膨胀的敏感度的材料，以及所述材料包括低膨胀材料，所述低膨胀材料为熔融硅石。