| 发明名称 | 晶圆检测装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够准确地检测出晶圆的容纳状态的晶圆检测装置。该晶圆检测装置用于检测晶圆容纳容器(1)内的晶圆的容纳状态，该晶圆容纳容器(1)能够沿上下方向层叠容纳多张晶圆(W)，能够从前方使所容纳的晶圆出入该晶圆容纳容器(1)，其中，该晶圆检测装置具有：在上下方向上较长的纵长状的照明装置(3)，其用于对上述晶圆容纳容器(1)内的晶圆进行光照射；摄像装置(4)，来自该照明装置(3)的光照射到晶圆(W)而被晶圆(W)反射，其反射光入射到该摄像装置(4)；上述摄像装置(4)配置在上述晶圆容纳容器(1)的前侧，上述照明装置(3)配置在上述摄像装置(4)的左右两侧中的至少一侧。 | ||
| 申请公布号 | CN102576687B | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201080045740.7 | 申请日期 | 2010.11.15 |
| 申请人 | 昕芙旎雅有限公司 | 发明人 | 安田克己;神垣敏雄;溝河巧 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;张会华 |
| 主权项 | 一种晶圆检测装置，其用于检测晶圆容纳容器内的晶圆的容纳状态，该晶圆容纳容器能够沿上下方向层叠容纳多张晶圆，并能够从前方使所容纳的晶圆出入该晶圆容纳容器，其特征在于，该晶圆检测装置具有：在上下方向上较长的纵长状的照明装置，其用于对上述晶圆容纳容器内的各晶圆照射来自上方及来自下方的光；摄像装置，来自该照明装置的光照射到晶圆并被该晶圆反射，其反射光入射到该摄像装置；上述摄像装置配置在上述晶圆容纳容器的前侧，上述照明装置配置在上述摄像装置的左右两侧中的至少一侧。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||