用于控制衬底支撑件的温度的设备和方法

摘要

本发明涉及快速衬底支撑件温度控制。本发明提供用于控制衬底支撑件温度的方法和设备。在部分实施例中，用于控制衬底支撑件的温度的设备包括第一热传递回路和第二热传递回路。第一热传递回路具有第一浴槽，且该第一浴槽具有处于第一温度的第一热传递流体。第二热传递回路具有第二浴槽，且该第二浴槽具有处于第二温度的第二热传递流体。第一温度可以与第二温度为相同或不同。可以提供第一和第二流量控制器，以各别将第一和第二热传递流体提供到衬底支撑件。一个或多个回流管路可以将衬底支撑件的一个或多个出口耦接到第一和第二浴槽，用以使得第一和第二热传递流体回流到第一和第二浴槽。

主权项

一种用于控制衬底支撑件的温度的设备，包括：第一热传递回路，其具有第一浴槽，所述第一浴槽具有处于第一温度的第一热传递流体，并利用第一流量控制器来将所述第一热传递流体提供到所述衬底支撑件；第二热传递回路，其具有第二浴槽，所述第二浴槽具有处于第二温度的第二热传递流体，并利用第二流量控制器来将所述第二热传递流体提供到所述衬底支撑件，其中，所述第一热传递流体和所述第二热传递流体在进入所述衬底支撑件之前不混合；以及一个或多个回流管路，其将所述衬底支撑件的一个或多个出口耦接到所述第一浴槽和所述第二浴槽，来使得所述第一热传递流体和所述第二热传递流体回流到所述第一浴槽和所述第二浴槽，其中，所述一个或多个回流管路包括将所述衬底支撑件耦接到所述第一浴槽的第一回流管路以及将所述衬底支撑件耦接到所述第二浴槽的第二回流管路。