碳材料、夹具及碳材料的制造方法

摘要

本发明的目的在于提供能够抑制起尘、且提高在氮气氛下的温度耐性的碳材料、夹具及碳材料的制造方法。其是在碳基材表面形成有碳化金属层的碳材料，其中，上述碳化金属层含有碳化钼或碳化铁。其特征在于，将埋入于含有钼粒子或铁粒子、和热分解性卤化氢发生剂的表面改性剂中的碳基材，与该碳基材以外的碳构件一起进行加热处理。

主权项

一种夹具，其特征在于，其是在氮气氛下使用的夹具，在碳基材上形成有含有碳化钼和/或碳化铁的碳化金属层，对于所述含有碳化钼和/或碳化铁的碳化金属层中的金属成分，为在X射线衍射中几乎检测不到其它金属的水平，所述碳化金属层在氮气氛下、在500℃、及1000℃进行热处理不发生变色。