一种冗余图形填充方法

摘要

本发明公开了一种冗余图形填充方法，通过将版图划分为空旷区域和非空旷区域，针对空旷区域采用传统的填充方法进行填充，而针对非空旷区域，首先将非空旷区域的空白区域各边向内缩小一定距离，得到和空白区域形状相同的图形，将不符合尺寸要求的图形予以滤除，并将剩余的图形进行填充。本发明将版图划分为空旷区域和非空旷区域，并根据区域的不同采取不同的填充方法，提高了冗余图形填充率和整个版图图形密度的均一性，最终提高硅片在化学机械研磨的均一性，进而提升生产工艺。

主权项

一种冗余图形填充方法，其特征在于，所述方法包括：提供一需要图形填充的版图，且该版图上包括主图形、空旷区域和非空旷区域，且该非空旷区域包含有多块空白区域；采用一种或多种多边形的冗余图形对所述空旷区域进行填充；将非空旷区域中的每个空白区域各边向内缩小尺寸a，得到冗余图形；若缩小得到的冗余图形的最小尺寸b小于主图形计规则中规定的最小冗余图形尺寸，则予以滤除，不进行处理；若缩小得到的冗余图形的最小尺寸b大于或等于主图形规则中规定的最小冗余图形尺寸，则符合条件并对所述非空旷区域进行冗余图形填充；其中，根据工艺需求设定一标准距离值d，所述版图中与所述主图形之间的距离值大于所述标准距离值d的区域为空旷区域，所述版图中与所述主图形之间的距离小于或等于所述标准距离值d的区域为非空旷区域。