图像中继波导及其产生方法

摘要

本发明描述一种工艺的实施例，其包含：在一材料的衬底的表面上图案化一个或一个以上反射器，所述表面相对于所述材料的(100)结晶平面以选定角度定向；及在所述表面中蚀刻一个或一个以上反射器，每一反射器包含由所述材料的(111)结晶平面形成的一个或一个以上反射表面。本发明还描述用于形成经模制波导的工艺实施例，其包含：制备波导模具，所述波导模具包括母模，所述母模在母模材料的衬底的表面上包含一个或一个以上反射器，所述表面相对于所述材料的(100)结晶平面以选定角度定向，每一反射器包含由所述材料的(111)结晶平面形成的一个或一个以上反射表面；将波导材料注射到所述波导模具中；及使所述经模制波导从所述波导模具脱模。

主权项

一种用于形成经模制波导的工艺，所述工艺包括：制备波导模具，所述波导模具包括母模，所述母模在母模材料的衬底的表面上包含一个或多个反射器，所述表面相对于所述材料的(100)结晶平面以选定角度定向，每一反射器包含由所述材料的(111)结晶平面形成的一个或多个反射表面；给所述母模的所述表面涂覆防止波导材料粘附到所述模具的一层涂层；将所述波导材料注射到所述波导模具中；及使所述经模制波导从所述波导模具脱模。