基板渗金属设备

摘要

本实用新型公开了一种基板渗金属设备，包括：基座、上板、真空压力仓、滑盖驱动件、滑盖、盖板、真空阀、充气阀、驱动器、移动组件和模组套；上板设在基座上且设有容纳腔，容纳腔内设有坩埚和第一加热装置，坩埚的底壁设有开口；真空压力仓设在上板的下表面上且内部限定出与容纳腔连通的仓室，仓室内设有第二加热装置；滑盖驱动件与滑盖相连以驱动滑盖水平移动；盖板设在上板上以封盖容纳腔，盖板上设有进料通道和进料阀；真空阀和充气阀设在盖板或者上板上且与容纳腔连通；驱动器设在基座上；移动组件由驱动器驱动在第一位置和第二位置之间可上下移动；模组套内盛放有基板且设在移动组件上。本实用新型的基板渗金属设备效率高，成本低，且性能可靠。

主权项

一种基板渗金属设备，其特征在于，包括：基座；上板，所述上板设在所述基座上，所述上板上设有顶部敞开的容纳腔，所述容纳腔内设有坩埚和用于对所述坩埚进行加热的第一加热装置，所述坩埚的底壁设有开口；真空压力仓，所述真空压力仓设在所述上板的下表面上，所述真空压力仓内限定出仓室，所述仓室内设有第二加热装置，所述仓室与所述容纳腔连通；滑盖驱动件和用于打开或关闭所述开口的滑盖，所述滑盖驱动件与所述滑盖相连以驱动所述滑盖水平移动地设在所述上板内；盖板，所述盖板设在所述上板上以封盖所述容纳腔，所述盖板上设有进料通道和用于打开或关闭所述进料通道的进料阀；真空阀和充气阀，所述真空阀设在所述盖板或者所述上板上且与所述容纳腔连通，所述充气阀设在所述盖板或者所述上板上且与所述容纳腔连通；驱动器，所述驱动器设在所述基座上；移动组件，所述移动组件在第一位置和第二位置之间可上下移动地设在所述基座上且位于所述真空压力仓的下方，所述移动组件与所述驱动器相连以由所述驱动器驱动移动；盛放有基板的模组套，所述模组套可拆卸地设在所述移动组件上，在第一位置，所述模组套位于所述仓室内且所述移动组件与所述真空压力仓接触以密封所述仓室，在所述第二位置，所述模组套位于所述仓室的下方；模组套设有承载金属液的盆口，所述盆口上具有盆口开口。