| 发明名称 | 薄膜晶体管基板及其制作方法及显示器 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种薄膜晶体管基板及其制作方法及显示器。该薄膜晶体管基板包括：一基板；一栅极，配置于基板上；一栅极绝缘层，配置于基板上并覆盖栅极；一主动层，配置于栅极绝缘层上并位于栅极上方，其中主动层具有一第一氧空缺部分与一第二氧空缺部分；一源极与一漏极，配置于主动层上，源极连接第一氧空缺部分，漏极连接第二氧空缺部分。 | ||
| 申请公布号 | CN105097824A | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201410218781.1 | 申请日期 | 2014.05.22 |
| 申请人 | 群创光电股份有限公司 | 发明人 | 李冠锋;赖浩诠 |
| 分类号 | H01L27/12(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L29/45(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈小雯 |
| 主权项 | 一种薄膜晶体管基板，包括：基板；栅极，配置于该基板上；栅极绝缘层，配置于该基板上并覆盖该栅极；主动层，配置于该栅极绝缘层上并位于该栅极上方，其中该主动层具有第一氧空缺部分与第二氧空缺部分；源极与漏极，配置于该主动层上，该源极连接该第一氧空缺部分，该漏极连接该第二氧空缺部分。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学工业园区 | ||