一种生长石墨烯薄膜的装置及其生长方法

摘要

本发明提供一种在柔性衬底上生长石墨烯薄膜的装置，该装置包括：内腔，该内腔分为预处理仓、上反应仓和中反应仓，所述预处理仓、上反应仓和中反应仓分设有进气口和出气口且依次排列；金属衬底，一般为铜膜或铜镍合金膜，延伸于内腔，金属衬底两侧的细缝连通预处理仓、上反应仓和中反应仓；加热器，位于立式内腔外侧，用于加热金属衬底；反射板，位于加热器外周侧，用于将热量向立式内腔方向反射。进一步地，所述内腔和外腔均为立式结构，并且金属衬底垂直延伸于内腔中，并可由预处理仓向上反应仓、中反应仓的方向匀速移动。利用本发明的装置和方法能够量产出高品质、大尺寸的石墨烯薄膜。

主权项

一种在柔性金属衬底上生长石墨烯薄膜的装置，其特征在于，包括：内腔，该内腔分为预处理仓、上反应仓和中反应仓，所述预处理仓、上反应仓和中反应仓分设有进气口和出气口且依次排列；金属衬底，延伸于内腔，金属衬底两侧的细缝连通预处理仓、上反应仓和中反应仓；外腔，所述外腔与所述内腔间形成缓冲空间；加热器，位于所述缓冲空间，用于加热金属衬底及气体环境；反射板，位于所述加热器外周侧，用于将热量向内腔方向反射。