一种游标式光栅尺

摘要

本发明公开了一种游标式光栅尺，包括静止光栅、主动光栅和游标光栅，主动光栅置于静止光栅上，游标光栅固定在主动光栅的侧方，静止光栅、主动光栅和游标光栅置于一组透镜内，透镜A将光源的出射光调制成平行光，透镜B将光源经过上述光栅后的光线放大后投射到CCD上。本发明采用游标原理提高光栅尺的测量精度，在静止光栅上采用普通刻线，测量光栅的主动光栅也采用普通刻线即可，但在游标光栅上选取一定长度上刻有比静止光栅少一根的刻线。在光栅移动过程中，游标光栅与静止光栅一定会出现三根动光栅的刻线完全被三根静止光栅的刻线所在区间的情况，且这种情况是唯一的。根据游标光栅的度数读取游标值，加上主动光栅的度数即可读出光栅度数。

主权项

一种游标式光栅尺，包括静止光栅、主动光栅和游标光栅，其特征在于：主动光栅置于静止光栅上，游标光栅固定在主动光栅的侧方，静止光栅、主动光栅和游标光栅置于一组透镜内，透镜A将光源的出射光调制成平行光，透镜B将光源经过上述光栅后的光线放大后投射到CCD上。