发明名称 |
β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶的生长方法 |
摘要 |
提供一种β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶的生长方法,其能够使晶体结构的偏差较小的高质量的β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶朝b轴方向生长。在一实施方式中,提供一种β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶的生长方法,其包括:使用晶种,使添加有Sn的平板状β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶朝b轴方向生长的步骤。 |
申请公布号 |
CN105102694A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201480020148.X |
申请日期 |
2014.03.31 |
申请人 |
株式会社田村制作所;株式会社光波 |
发明人 |
渡边信也;饭塚和幸;土井冈庆;松原春香;增井建和 |
分类号 |
C30B29/16(2006.01)I;C30B15/34(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/16(2006.01)I |
代理机构 |
北京市隆安律师事务所 11323 |
代理人 |
徐谦;刘宁军 |
主权项 |
一种β‑Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶的生长方法,包括:使用晶种,使添加有Sn的平板状β‑Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶朝b轴方向生长的步骤。 |
地址 |
日本东京都 |