发明名称 β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶的生长方法
摘要 提供一种β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶的生长方法,其能够使晶体结构的偏差较小的高质量的β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶朝b轴方向生长。在一实施方式中,提供一种β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶的生长方法,其包括:使用晶种,使添加有Sn的平板状β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶朝b轴方向生长的步骤。
申请公布号 CN105102694A 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201480020148.X 申请日期 2014.03.31
申请人 株式会社田村制作所;株式会社光波 发明人 渡边信也;饭塚和幸;土井冈庆;松原春香;增井建和
分类号 C30B29/16(2006.01)I;C30B15/34(2006.01)I 主分类号 C30B29/16(2006.01)I
代理机构 北京市隆安律师事务所 11323 代理人 徐谦;刘宁军
主权项 一种β‑Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶的生长方法,包括:使用晶种,使添加有Sn的平板状β‑Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系单晶朝b轴方向生长的步骤。
地址 日本东京都
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