发明名称 结晶性层叠结构体以及半导体装置
摘要 提供一种半导体特性好,特别地,导电性的易控制性好,能够在纵方向导通,具有良好的电学特性的结晶性层叠结构体。所述层叠结构体在所含主要成分为单轴取向的金属之金属层上,直接或介由其他层具备半导体层,并且所述半导体层所含主要成分为结晶性氧化物半导体,所述结晶性氧化物半导体是含有从镓、铟以及铝中选择的一种或两种以上的金属的氧化物半导体,并且是单轴取向的。
申请公布号 CN105097896A 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201510233704.8 申请日期 2015.05.08
申请人 FLOSFIA株式会社 发明人 人罗俊实;织田真也;高塚章夫
分类号 H01L29/24(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L29/872(2006.01)I;H01L29/778(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L29/739(2006.01)I;H01L33/02(2010.01)I 主分类号 H01L29/24(2006.01)I
代理机构 深圳瑞天谨诚知识产权代理有限公司 44340 代理人 温青玲
主权项 一种结晶性层叠结构体,其中,在含有单轴取向的金属作为主要成分之金属层上,直接或介由其他层具备半导体层,并且该半导体层所含主要成分为结晶性氧化物半导体,其特征在于,就所述结晶性氧化物半导体而言,是含有从镓、铟以及铝中选择的一种或两种以上的金属之氧化物半导体,并且是单轴取向。
地址 日本京都府京都市西京区御陵大原1番36号京大桂创业大厦北馆