弯折探针及其治具

摘要

本发明公开了一种弯折探针及其治具，弯折探针包括弯折呈等腰梯形的三段，第一段与第二段的夹角与第三段与第二段的夹角相同且夹角均为120-150°。本发明的弯折探针可以使背面探测式分析设备从芯片的正面进行探测分析，弯折探针不会对光学透镜造成损伤；弯折探针治具可以很方便地制作出符合要求的弯折探针，每个弯折探针形状一致，以便于在多针同时使用的情况下，缩短对焦时调整探针的时间，大大提高工作效率。

主权项

一种弯折探针，其特征在于：其包括弯折呈等腰梯形的三段，第一段与第三段长度相同并构成等腰梯形的两个腰，第一段与第三段中间的第二段构成等腰梯形的上底，所述第一段与第二段的夹角与第三段与第二段的夹角相同且所述夹角均为120‑150°。