发明名称 具有栅极氧化物层处减小电场的半导体器件
摘要 半导体器件,例如功率MOSFET、IGBT或MOS晶闸管,例如由SiC制成,具有在栅极氧化物层界面处的减小的电场。在一个实施例中,器件包括栅极(36)、源极(34)和漏极,其中栅极至少部分地接触栅极氧化物层(40)。为了减小在栅极氧化物层上的电场,器件具有在例如N型JFET区的第二相对的导电类型的JFET区(52)内的例如P<sup>+</sup>型区的第一导电类型的高掺杂区(46’),所述JFET区(52)是例如N型漂移区的所述第二导电类型的漂移区(42)的一部分,位于例如P<sup>+</sup>型阱的所述第一导电类型的高掺杂阱(50)之间。
申请公布号 CN105103297A 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201380068265.9 申请日期 2013.12.04
申请人 科锐 发明人 Q.张;B.哈尔
分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L29/739(2006.01)I;H01L29/749(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/331(2006.01)I;H01L21/332(2006.01)I;H01L29/16(2006.01)I 主分类号 H01L29/78(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 王岳;刘春元
主权项  一种晶体管器件,其包括栅极、漏极和源极,其中所述栅极至少部分地与栅极氧化物层接触,且其中至少一个P+区存在于结场效应(JFET)区内,以便减小在所述栅极氧化物上的电场。
地址 美国北卡罗来纳州