发明名称 |
具有栅极氧化物层处减小电场的半导体器件 |
摘要 |
半导体器件,例如功率MOSFET、IGBT或MOS晶闸管,例如由SiC制成,具有在栅极氧化物层界面处的减小的电场。在一个实施例中,器件包括栅极(36)、源极(34)和漏极,其中栅极至少部分地接触栅极氧化物层(40)。为了减小在栅极氧化物层上的电场,器件具有在例如N型JFET区的第二相对的导电类型的JFET区(52)内的例如P<sup>+</sup>型区的第一导电类型的高掺杂区(46’),所述JFET区(52)是例如N型漂移区的所述第二导电类型的漂移区(42)的一部分,位于例如P<sup>+</sup>型阱的所述第一导电类型的高掺杂阱(50)之间。 |
申请公布号 |
CN105103297A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201380068265.9 |
申请日期 |
2013.12.04 |
申请人 |
科锐 |
发明人 |
Q.张;B.哈尔 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/739(2006.01)I;H01L29/749(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/331(2006.01)I;H01L21/332(2006.01)I;H01L29/16(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
王岳;刘春元 |
主权项 |
一种晶体管器件,其包括栅极、漏极和源极,其中所述栅极至少部分地与栅极氧化物层接触,且其中至少一个P+区存在于结场效应(JFET)区内,以便减小在所述栅极氧化物上的电场。 |
地址 |
美国北卡罗来纳州 |