一种对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

摘要

本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯型角反射镜、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜、分光镜组和微动平台，所述微动阶梯型角反射镜设置在所述微动平台上，所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束，还包括有反射测量光电探测器组，所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组，所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪，根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态，实现抗干扰的目的。

主权项

一种对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯型角反射镜、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜、分光镜组和微动平台，所述微动阶梯型角反射镜设置在所述微动平台上，所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束，其中z为大于或者等于2的正整数，所述干涉测量光电探测器组包括有z个干涉测量光电探测器，每一个干涉测量光电探测器与一束激光束相对应，各激光束经所述分光镜组后分为第一激光束组和第二激光束组，所述第一激光束组射向所述微动阶梯型角反射镜，经所述微动阶梯型角反射镜反射后再次射向所述分光镜组，再经所述分光镜组后射向所述干涉测量光电探测器组，所述第二激光束组射向所述移动角反射镜，经所述移动角反射镜反射后再次射向所述分光镜组，经所述分光镜组后相对应的与射向所述干涉测量光电探测器组的第一激光束组发生干涉，形成干涉激光束组，干涉激光束组的各干涉光束分别射向各自对应的所述干涉测量光电探测器，其特征在于，所述对比式抗干扰微动阶梯角反射镜激光干涉仪还包括有反射测量光电探测器组，所述反射测量光电探测器组包括有z个反射测量光电探测器，所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组，所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。