扩展光源干涉测量准直系统

摘要

本实用新型涉及一种扩展光源干涉测量准直系统，由激光光源(1)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)、干涉腔(4)、准直镜(5)、成像透镜(6)、CCD(7)、标准平晶(8)和旋转毛玻璃(9)构成，所述标准平晶(8)设置在激光光源(1)和分光棱镜(2)之间，所述旋转毛玻璃(9)设置在分光棱镜(2)和耦合系统(3)之间。本实用新型提供的扩展光源干涉测量准直系统为了满足干涉测量仪的需求，可以分析验证光学系统波像差对干涉条纹的影响，通过仿真可以用于检验边缘视场的像差对干涉图的失真和畸变影响。

主权项

一种扩展光源干涉测量准直系统，其特征在于：扩展光源干涉测量准直系统由激光光源(1)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)、干涉腔(4)、准直镜(5)、成像透镜(6)、CCD(7)、标准平晶(8)和旋转毛玻璃(9)构成，所述标准平晶(8)设置在激光光源(1)和分光棱镜(2)之间，所述旋转毛玻璃(9)设置在分光棱镜(2)和耦合系统(3)之间。