可提高硒化质量的硒化反应装置

摘要

本申请公开了一种可提高硒化质量的硒化反应装置，包括一个硒源蒸发室、硒蒸汽流通通道、载气流通通道、混合气体流通通道、反应室；本申请所述的可提高硒化质量的硒化反应装置，利用微波发生装置离化硒原子，分散硒的大分子团，提高硒原子能量；传统方式中惰性气体是不加热的，本设计方案中加热惰性气体可以更好的保持硒蒸汽流的能量；本装置中两股气流交汇的方式采用了平行交汇，取消了传统的垂直交汇；使用可加热式匀流板提高硒蒸汽分布的均匀性。

主权项

一种可提高硒化质量的硒化反应装置，其特征在于：包括一个硒源蒸发室、硒蒸汽流通通道、载气流通通道（105）、混合气体流通通道（106）、反应室，其中，硒源蒸发室内设有一个用于盛放硒源的腔室一（101），该腔室一（101）外壁上设置有多组加热棒一（102）；腔室一（101）上连通硒蒸汽流通通道，硒蒸汽流通通道的出口（104）处为喇叭口，硒蒸汽流通通道的出口（104）与载气流通通道（105）的出气口相互平行，硒蒸汽与载气平行流入混合气体流通通道（106），混合气体流通通道（106）的外壁上设置有多组加热棒二（109），混合气体流通通道（106）中设置有微波发生装置（108）；混合气体流通通道（106）的出口处设置反应室，反应室内混合气体流通通道（106）的出口处连接一个喇叭罩（110），喇叭罩（110）罩口处设置有可加热式匀流板（111），可加热式匀流板（111）下方设置有加热板（113），加热板（113）上放置CIGS基片（112）；反应室底部开设有抽气口（115）。