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发明名称 ナノインプリント用樹脂モールドおよびその製造方法
摘要
申请公布号 JP5824399(B2) 申请公布日期 2015.11.25
申请号 JP20120081516 申请日期 2012.03.30
申请人 富士フイルム株式会社 发明人 堀田 吉則
分类号 B29C59/02;B29C33/38;H01L21/027 主分类号 B29C59/02
代理机构 代理人
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