| 发明名称 |
SWITCHABLE ANTIREFLECTIVE COATINGS |
| 摘要 |
<p>An antireflective coating compositions comprising (I) a silsesquioxane resin (II) a compound selected from photo-acid generators and thermal acid generators; and (III) a solvent wherein in the silsesquioxane resin contains a carboxylic acid forming group or a sulfuric acid forming group.</p> |
| 申请公布号 |
EP2370537(B1) |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
| 申请号 |
EP20090832280 |
申请日期 |
2009.10.19 |
| 申请人 |
DOW CORNING CORPORATION |
发明人 |
FU, PENG-FEI;MOYER, ERIC;SUHR, JASON |
| 分类号 |
C09D183/04;C08L83/04;C09D5/00;H01L23/29 |
主分类号 |
C09D183/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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