用于生产粒状硅的方法和设备

摘要

在流化床反应器中，在腔室内部通过在种子粒子上进行化学气相沉积生产硅粒。腔室含有阻挡构件或泡分裂器，阻挡构件或泡分裂器的尺寸和形状被设计成能限制腔室内部的气泡的生长，并且阻挡构件或泡分裂器具有内部通道，加热流体通过所述内部通道通过，以将热量传递给腔室内部的气体。

主权项

一种用于通过含硅气体的热分解来生产粒状硅的方法，所述方法包括：使载硅气体和氢气向上通过位于反应器中的腔室内部的硅粒子流化床，以流化硅粒子床并使硅从所述载硅气体沉积到所述粒子上；设置阻挡构件，所述阻挡构件位于所述腔室中并且从所述反应器的顶部头部垂下，并且所述阻挡构件被构造成使所述流化床中的气泡分裂，所述阻挡构件包括多根管，所述多根管延伸到所述腔室内，并且所述多根管限定一个或多个通道；使加热氢气通过所述多根管，所述加热氢气的温度足以将热量传递到所述流化床，以及重新加热离开所述管的氢气，然后将重新加热的氢气注入所述腔室，使得所述重新加热的氢气参与所述床的流化。