发明名称 带有隆起边缘的锥形石墨电极
摘要 本发明涉及带有隆起边缘的锥形石墨电极。更具体地说,本发明涉及一种具有锥形或金字塔形尖端的碳电极,其中,所述尖端在其侧面由至少一个隆起边缘围绕。本发明还涉及一种通过将高纯度单质硅由气相沉积到硅棒的表面上来生产多晶硅的方法,其中,所述硅棒通过上述电极保持在反应器中。
申请公布号 CN102219218B 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201110068410.6 申请日期 2011.03.18
申请人 瓦克化学股份公司 发明人 H·克劳斯
分类号 C01B33/035(2006.01)I;C23C16/24(2006.01)I 主分类号 C01B33/035(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 王永建
主权项 一种由具有20至200W/(m·K)的导热率的碳制成的电极,所述电极包括具有锥形或金字塔形尖端(2)的圆柱形主体(1),所述尖端包括用于容纳细丝棒(5)的装置(4),其中,所述锥形或金字塔形尖端(2)在其侧面由至少一个隆起边缘(3)围绕。
地址 德国慕尼黑