沟槽加工工具及使用该沟槽加工工具的薄膜太阳电池的沟槽加工方法及划线装置

摘要

本案发明是一种沟槽加工工具及使用该沟槽加工工具的薄膜太阳电池的沟槽加工方法及划线装置。为了提供一种可高良率地制造集成型薄膜太阳电池的制造方法、沟槽加工工具，使沟槽加工工具(8)的刃尖部分(81)的底面(83)的形状为沿着移动方向细长地延伸的长方形，底面(83)与位于沿着移动方向的轴线上的刃尖部分的前侧面(84)及后侧面(85)相交成直角，所述角部形成为刃尖(86、87)，且刃尖部分的左右侧面平行地形成，使用所述形状的沟槽加工工具(8)，在进行图案化时的刃尖部分的前侧面(84)或后侧面(85)与基板(W)的上侧面所成的角度为50度～80度的范围内向前进方向侧倾斜而进行加工。

主权项

一种集成型薄膜太阳电池的沟槽加工方法，其是沿着集成型薄膜太阳电池基板的划线预定线，一面用沟槽加工工具的刃尖进行按压，一面使所述太阳电池基板与沟槽加工工具相对移动，剥离所述集成型薄膜太阳电池的薄膜而在集成型太阳电池的表面形成沟槽，其特征在于：所述沟槽加工工具包含棒状的本体与形成在本体的前端部的刃尖区域，刃尖区域包含细长地延伸的长方形的底面、从底面的宽度方向的端边立起的前侧面及后侧面、以及从底面的长度方向的端边呈直角地立起而形成相互平行的一对面的左、右侧面，由前后侧面中的任一单面与底面所形成的角部形成为刃尖，形成长方形的底面的长轴方向是沿着所述移动方向而配置，刃尖区域的前侧面或后侧面是在与太阳电池的被加工面之间所形成的角度为50度～80度的范围内向前进方向侧倾斜而进行沟槽加工。