发明名称 |
基板承载结构、减压干燥设备及减压干燥方法 |
摘要 |
本发明提供了一种基板承载结构、减压干燥设备及减压干燥方法,所述基板承载结构,包括:承载台以及设置于所述承载台上的多个支撑杆;其特征在于,多个支撑杆分为至少两组,且至少两组支撑杆均以能够在所述承载台上升降的方式设置在所述承载台上,以使至少两组支撑杆交替地支撑基板。本发明可以利用不同位置的支撑杆不断地支撑和停止支撑基板,避免现有技术中支撑杆与基板的接触位置固定而导致的不良,防止基板长期处于定量的弯曲状态,由于基板弯曲导致涂覆液分布不均匀,进而导致膜层厚度不均一的问题。 |
申请公布号 |
CN105080803A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201510518683.4 |
申请日期 |
2015.08.21 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
赵德江 |
分类号 |
B05C13/02(2006.01)I;B05D3/00(2006.01)I |
主分类号 |
B05C13/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
许静;黄灿 |
主权项 |
一种基板承载结构,包括:承载台以及设置于所述承载台上的多个支撑杆;其特征在于,多个支撑杆分为至少两组,且至少两组支撑杆均以能够在所述承载台上升降的方式设置在所述承载台上,以使至少两组支撑杆交替地支撑基板。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |