埋入式字线及其隔离结构的制造方法

摘要

一种埋入式字线及其隔离结构的制造方法，包括先在基板内形成多个埋入式字线，且埋入式字线的顶部低于基板表面。之后，在埋入式字线上的沟槽内分别形成掩模结构层，并通过移除部分结构，使掩模结构层凸出，以便于掩模结构层的侧壁形成间隔件，进而形成多个自行对准的沟槽。然后，以间隔件与掩模结构层为蚀刻掩模，蚀刻去除沟槽底下的基板，以形成多个隔离结构沟槽，再在隔离结构沟槽内形成隔离结构。本发明的制造方法能有效降低字线之间的干扰(Row Hammer)，并保持有源区内的接触区域的面积。

主权项

一种埋入式字线及其隔离结构的制造方法，其特征在于所述方法包括：在一基板的表面上形成由一第一氮化层、氧化层与一第二氮化层所构成的多层结构；图案化该多层结构，以形成暴露该基板的该表面的多个第一沟槽；以该多层结构为蚀刻掩模，蚀刻去除暴露出的该基板，以形成多个埋入式字线沟槽；在所述多个埋入式字线沟槽内分别形成埋入式字线，且该埋入式字线的顶部低于该基板的该表面；在该埋入式字线上的所述多个第一沟槽内分别形成掩模结构层；分别移除该多层结构内的该第二氮化层与该氧化层，以使所述多个掩模结构层凸出于该第一氮化层；在所述多个掩模结构层的侧壁形成间隔件，以形成多个自行对准的第二沟槽；以所述多个间隔件与所述多个掩模结构层为蚀刻掩模，蚀刻去除所述多个第二沟槽底下的基板，以形成多个隔离结构沟槽；以及在所述多个隔离结构沟槽内形成隔离结构。