发明名称 |
一种多晶硅引晶方法 |
摘要 |
发明公开了一种多晶硅引晶方法,包括以下步骤:(1)在引晶颗粒外包裹一层氮化硅涂层形成新的引晶颗粒;(2)把步骤(1)中形成的新的引晶颗粒均匀的铺设到坩埚底部;(3)把经过步骤(2)处理后的坩埚放入铸锭炉中,进行多晶硅的铸锭。本发明在原有多晶硅铸锭的基础上,通过把引晶颗粒的外表面包裹一层氮化硅涂层,大大的改善了引晶颗粒与坩埚底部接触易发生粘连的问题。 |
申请公布号 |
CN105088337A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201510446358.1 |
申请日期 |
2015.07.27 |
申请人 |
奥特斯维能源(太仓)有限公司 |
发明人 |
宋江;郭宽新 |
分类号 |
C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B28/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
张海英;林波 |
主权项 |
一种多晶硅引晶方法,其特征在于,包括以下步骤:(1).在引晶颗粒外包裹一层氮化硅涂层形成新的引晶颗粒;(2).把步骤(1)中形成的新的引晶颗粒均匀的铺设到坩埚底部;(3).把经过步骤(2)处理后的坩埚放入铸锭炉中,进行多晶硅的生产。 |
地址 |
215434 江苏省苏州市太仓市港口开发区平江路88号 |