发明名称 一种多晶硅引晶方法
摘要 发明公开了一种多晶硅引晶方法,包括以下步骤:(1)在引晶颗粒外包裹一层氮化硅涂层形成新的引晶颗粒;(2)把步骤(1)中形成的新的引晶颗粒均匀的铺设到坩埚底部;(3)把经过步骤(2)处理后的坩埚放入铸锭炉中,进行多晶硅的铸锭。本发明在原有多晶硅铸锭的基础上,通过把引晶颗粒的外表面包裹一层氮化硅涂层,大大的改善了引晶颗粒与坩埚底部接触易发生粘连的问题。
申请公布号 CN105088337A 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201510446358.1 申请日期 2015.07.27
申请人 奥特斯维能源(太仓)有限公司 发明人 宋江;郭宽新
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B28/06(2006.01)I
代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 张海英;林波
主权项 一种多晶硅引晶方法,其特征在于,包括以下步骤:(1).在引晶颗粒外包裹一层氮化硅涂层形成新的引晶颗粒;(2).把步骤(1)中形成的新的引晶颗粒均匀的铺设到坩埚底部;(3).把经过步骤(2)处理后的坩埚放入铸锭炉中,进行多晶硅的生产。
地址 215434 江苏省苏州市太仓市港口开发区平江路88号