发明名称 |
薄膜晶体管及制作方法、阵列基板、显示装置 |
摘要 |
本发明提供了一种薄膜晶体管及制作方法、阵列基板、显示装置,涉及显示技术领域,该薄膜晶体管的源极和漏极不易被氧化,从而使得该薄膜晶体管具有较高的稳定性。一种薄膜晶体管,该薄膜晶体管包括:源漏金属层图案,该薄膜晶体管还包括:覆盖所述源漏金属层图案的金属氧化物绝缘层,且所述金属氧化物绝缘层与所述源漏金属层图案相接触。本发明适用于薄膜晶体管、包括该薄膜晶体管的阵列基板、以及包括该阵列基板的显示装置的制作。 |
申请公布号 |
CN105097950A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201510524252.9 |
申请日期 |
2015.08.24 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
刘翔 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 |
代理人 |
申健 |
主权项 |
一种薄膜晶体管,包括:源漏金属层图案,其特征在于,还包括:覆盖所述源漏金属层图案的金属氧化物绝缘层,且所述金属氧化物绝缘层与所述源漏金属层图案相接触。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |