发明名称 薄膜晶体管及制作方法、阵列基板、显示装置
摘要 本发明提供了一种薄膜晶体管及制作方法、阵列基板、显示装置,涉及显示技术领域,该薄膜晶体管的源极和漏极不易被氧化,从而使得该薄膜晶体管具有较高的稳定性。一种薄膜晶体管,该薄膜晶体管包括:源漏金属层图案,该薄膜晶体管还包括:覆盖所述源漏金属层图案的金属氧化物绝缘层,且所述金属氧化物绝缘层与所述源漏金属层图案相接触。本发明适用于薄膜晶体管、包括该薄膜晶体管的阵列基板、以及包括该阵列基板的显示装置的制作。
申请公布号 CN105097950A 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201510524252.9 申请日期 2015.08.24
申请人 京东方科技集团股份有限公司 发明人 刘翔
分类号 H01L29/786(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人 申健
主权项 一种薄膜晶体管,包括:源漏金属层图案,其特征在于,还包括:覆盖所述源漏金属层图案的金属氧化物绝缘层,且所述金属氧化物绝缘层与所述源漏金属层图案相接触。
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号