| 发明名称 | 一种移除光刻胶的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种移除光刻胶的方法。包括以下步骤：使用湿法刻蚀去除光刻胶，酸溶液洗涤，使用碱溶液浸泡洗涤，向碱溶液中持续通入臭氧，使用高锰酸钾溶液浸泡洗涤，有机溶剂浸泡，去离子水冲洗。本发明移除光刻胶效果好，对纤维面板材料损伤小，洗涤液可以多次反复使用。 | ||
| 申请公布号 | CN105093864A | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201510521779.6 | 申请日期 | 2015.08.24 |
| 申请人 | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 | 发明人 | 陈哲;张睿;王者馥;王绪敏;殷金龙;任鲁风 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I;G03F7/26(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种移除光刻胶的方法，其特征在于，包括以下步骤：使用湿法刻蚀去除光刻胶；使用酸溶液洗涤涂有光纤面板的光刻胶；加热碱溶液，使用碱溶液浸泡洗涤；向碱溶液中持续通入臭氧；使用高锰酸钾溶液浸泡洗涤；使用有机溶剂浸泡；使用去离子水冲洗。 | ||
| 地址 | 101111 北京市大兴区经济技术开发区科创六街88号亦庄生物医药园3号楼608 | ||