发明名称 一种机台供水循环系统
摘要 本实用新型提供一种机台供水循环系统,包括:汇流阀供水端组件、汇流阀回水端组件、安装于机台顶部的冷却环、第一水管链路转接器及第二水管链路转接器;所述汇流阀供水端组件及所述汇流阀回水端组件均包括至少一个端口,每一个端口分别与所述机台的一个腔室相对应;其中:所述汇流阀供水端组件及所述汇流阀回水端组件均包括圆柱体型主体,所述端口设置于所述主体侧壁,且所述端口中部设置有电磁阀;所述主体顶端设有清洗水入水口、底端设有清洗水排水口;所述主体顶端还设有一搅拌口。本实用新型将汇流阀供水/回水端组件及冷却环漏水的风险降到最低,并使这两个部件可以得到定时的清洗,防止内部的水流发生堵塞,同时极大地简化了更换漏水部位的步骤。
申请公布号 CN204809195U 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201520285698.6 申请日期 2015.05.05
申请人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 发明人 章肖榕;苏立文;吴志君;邓义彬
分类号 H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 上海光华专利事务所 31219 代理人 余明伟
主权项 一种机台供水循环系统,包括:汇流阀供水端组件;汇流阀回水端组件;安装于机台顶部的冷却环;第一水管链路转接器及第二水管链路转接器;所述汇流阀供水端组件及所述汇流阀回水端组件均包括至少一个端口,每一个端口分别与所述机台的一个腔室相对应;所述汇流阀供水端组件的一个端口与所述第一水管链路转接器之间通过水管连接,所述水管经过所述第一水管链路转接器分为两路,并经过所述第二水管链路转接器重新合并为一路,连接于所述汇流阀回水端组件的一个端口;其中,分为两路的水管中,一路水管分为两段分别连接于腔室入水口及腔室出水口,另一路水管分为两段分别连接于冷却环入水口及冷却环出水口;其特征在于:所述汇流阀供水端组件及所述汇流阀回水端组件均包括圆柱体型主体,所述端口设置于所述主体侧壁,且所述端口中部设置有电磁阀;所述主体顶端设有清洗水入水口、底端设有清洗水排水口,所述清洗水入水口及所述清洗水排水口中部均设有手动阀;所述主体顶端还设有一搅拌口,所述搅拌口顶部设有一盖体;所述汇流阀供水端组件的主体侧壁还设有一循环水入水口,所述循环水入水口中部设有一加热器;所述汇流阀回水端组件的主体侧壁还设有一循环水排出管路。
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