| 摘要 |
레이저 빔들의 다수의 그룹들(2, 2', 2'')을 형성하는 장치 및 방법이 정의된다. 각각의 그룹(2, 2', 2'')은 두 개 이상의 레이저 빔들을 포함할 수 있다. 상기 장치는 제1 회절 광학 요소(3)(diffractive optical element; DOE) 및 제2 회절광학 요소(8)(DOE)를 포함하며, 상기 제1 DOE(3)는 제1 레이저 빔(1)을 수신하여 상기 제1 레이저 빔(1)을 다수의 제2 레이저 서브-빔들로 분할하도록 조정되고, 상기 제2 DOE(8)는 상기 다수의 제2 레이저 서브-빔들을 수신하여 이들 각각을 제3 레이저 서브-빔들의 두 개 이상의 그룹들(2, 2', 2'')로 분할하도록 조정되며, 제1 축에 수직한 방향으로의 상기 그룹들간의 간격은 상기 제1 DOE(3)의 광축 주위의 상기 제1 DOE(3)의 회전에 의해 조정가능하며, 상기 제1 축에 수직한 방향으로의 각 그룹(2, 2', 2'') 내 상기 제3 레이저 서브-빔들의 간격은 상기 제2 DOE(8)의 광축 주위의 상기 제2 DOE(8)의 회전에 의해 조정가능하다. |
