| 摘要 |
<p>본 발명은 대각 길이가 1000 mm 이상인 대형 합성 석영 유리 기판 재료를 수직 유지한 상태로 기판 재료의 표리면의 평탄도 및 평행도를 측정하고, 그 데이터를 기초로 기판의 볼록 부분 및 두꺼운 부분을 부분적으로 제거하는 대형 합성 석영 유리 기판의 제조 방법으로서, 상기 제거가 기판 대각 길이의 15 내지 50％의 직경을 갖는 제1의 가공 툴로 가공 제거한 후, 제1의 가공 툴보다 작은 제2의 가공 툴로 추가로 가공 제거를 행하는 것을 특징으로 하는 대형 합성 석영 유리 기판의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 대형 합성 석영 유리 기판 재료의 평탄도 및 평행도를 단시간으로 수정할 수 있고, 고평탄도 및 고평행도의 대형 합성 석영 유리 기판을 얻을 수 있다.</p> |
