| 摘要 |
【課題】異物が侵入しても動作異常が発生しにくく、構造がシンプルで製作も容易な複合センサデバイスを提供する。【解決手段】一つの筐体１６内に圧力センサ１２及び機能デバイス１４を備える。圧力センサ１２は、基板ｋに設けられた第一の可撓部１８と、第一の可撓部１８に配置された圧力検出用素子２０と、第一の可撓部１８及びその周辺を支持する第一の台座部２２とを備える。第一の台座部２２の凹部２２ｂと第一の可撓部１８とで囲まれて、密閉室２４を形成する。機能デバイス１４は、基板ｋの他の位置に梁状に形成された第二の可撓部２６と、第二の可撓部２６に配置された加速度検出用素子３４とを備える。第二の可撓部２６の一端部に設けられた重錘部３８と、第二の可撓部２６の他端部を支持する第二の台座部４０と、第二の可撓部２６及びこの近傍を覆う蓋部４２とを備える。【選択図】図２ |
