| 摘要 |
본 개시물의 실시예들은, 기판 서포트의 다양한 위치들에서 하나 또는 그 초과의 프로세싱 파라미터들, 이를테면 온도를 측정하기 위한 장치 및 방법들을 제공한다. 본 개시물의 일 실시예는, 프로세싱 챔버에서 하나 도는 그 초과의 파라미터들을 측정하기 위한 센서 칼럼을 제공한다. 센서 칼럼은 측정될 챔버 구성요소와 접촉하는 팁, 제 1 단부와 제 2 단부로부터 연장하는 내부 체적을 갖는 보호 튜브로서, 팁은 보호 튜브의 제 1 단부에 부착되며 제 1 단부에서 보호 튜브를 밀봉하는, 보호 튜브; 및 팁 근처에 배치되는 센서를 포함한다. 상기 보호 튜브의 내부 체적이 상기 센서의 커넥터들을 수납하며, 상기 팁은 작동중 상기 프로세싱 챔버의 개구를 통해 상기 프로세싱 챔버에 위치 설정된다. |
