MICRO CHIP

摘要

본 발명은 복수의 LTCC 층을 포함하는 마이크로 칩에 관한 것으로, 여기서 반응 챔버가 시료 탑재를 위해 복수의 상부 층에 형성되어 있다. 히터가 상기 반응 챔버 하부에 있는 층들 중 적어도 하나에 내장되고, 온도 센서가 상기 히터와 상기 반응 챔버 사이에 있는 층들 중 적어도 하나에 내장되어, 시료를 분석한다. 상기 온도 센서는 칩 외부에 위치하여, 상기 칩 온도를 측정할 수도 있다.