| 摘要 |
게이트 절연층, 게이트 전극, 반도체층, 소스 전극 및 드레인 전극을 갖는 전계 효과형 트랜지스터이며, 상기 게이트 절연층은 규소와 탄소의 결합을 포함하는 유기 화합물과, 금속 원자 및 산소 원자의 결합을 포함하는 금속 화합물을 포함하고, 상기 게이트 절연층에 있어서, 탄소 원자와 규소 원자의 합계 100중량부에 대하여 상기 금속 원자가 10 내지 180중량부 포함되는 것을 특징으로 하는 전계 효과형 트랜지스터에 의해, 고이동도, 저역치 전압이며, 또한 누설 전류가 억제된 FET를 제공한다. |
