发明名称 POLISHING PAD AND POLISHING METHOD
摘要 본 발명은, 연마면을 갖는 연마 부재를 구비하는 연마 패드로서, 상기 연마 부재가 다일레이턴시 특성을 갖는 재료를 함유하는 연마 패드를 제공한다.
申请公布号 KR20150131024(A) 申请公布日期 2015.11.24
申请号 KR20157024655 申请日期 2014.02.27
申请人 KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION;FUJIBO HOLDINGS, INC. 发明人 DOI TOSHIRO;SESHIMO KIYOSHI;TAKAGI MASATAKA;KASHIWADA HIROSHI
分类号 B24B37/22;B24B37/24 主分类号 B24B37/22
代理机构 代理人
主权项
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