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发明名称 誘導結合形プラズマ処理装置のマスク部材
摘要
申请公布号 JP5822133(B2) 申请公布日期 2015.11.24
申请号 JP20110281886 申请日期 2011.12.22
申请人 发明人
分类号 C23F4/00;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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