发明名称 硬脆性インゴットの切断加工方法
摘要
申请公布号 JP5821679(B2) 申请公布日期 2015.11.24
申请号 JP20120030119 申请日期 2012.02.15
申请人 新日鐵住金株式会社 发明人 矢代 弘克;藤本 辰雄;平野 芳生;柘植 弘志;勝野 正和;佐藤 信也;伊藤 渉;藍郷 崇;森田 充;大橋 渡
分类号 B23H5/04;B23H5/10;B23H7/02;B23H7/08;B24B27/06;B28D5/04;H01L21/304 主分类号 B23H5/04
代理机构 代理人
主权项
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