| 摘要 |
수분 오염(moisture contamination)에 의해 야기되는 프로세스 결함들을 제어하기 위한, 시스템들, 챔버들, 및 프로세스들이 제공된다. 시스템들은, 챔버들이, 진공 또는 제어된 환경에서 다수의 동작들을 수행하게 하기 위한 구성들을 제공할 수 있다. 챔버들은, 챔버 디자인들과 조합하여 부가적인 프로세싱 능력들을 제공하기 위한 구성들을 포함할 수 있다. 방법들은, 시스템 툴들에 의해 수행되는 에칭 프로세스들의 결과로서 야기될 수 있는 에이징(aging) 결함들의 제한, 방지, 및 보정을 제공할 수 있다. |
