发明名称 真空固定系统、用于一真空固定台之真空台遮罩、及提供真空固定之方法
摘要
申请公布号 TWI509730 申请公布日期 2015.11.21
申请号 TW100101622 申请日期 2011.01.17
申请人 奥宝科技股份有限公司 发明人 卡士 亚瑟
分类号 H01L21/683 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人 陈翠华 台北市松山区南京东路3段261号6楼
主权项 一种用于各种形状及/或尺寸之工件之真空固定系统,该系统包括:一真空固定台,界定一遮罩支撑平面;以及一有孔之真空台遮罩,其可选择性地定位于该遮罩支撑平面上,该真空固定台及该真空台遮罩被构造成藉由于该遮罩支撑平面中对该真空台遮罩与该真空固定台进行适当之相对定位来界定复数个可选择之不同之相邻真空孔阵列。
地址 以色列
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