| 主权项 |
一种基板涂布装置，包含：一承载台，包括一供一基板设置的吸附区及至少一空气通道，该空气通道于该吸附区的表面形成多数个间隔设置的开口；一气泵单元，包括一气泵及一三通电磁阀，该三通电磁阀的其中二端口分别藉由一管路连通该空气通道及该气泵，而另一端口与外界大气相连通；一涂布单元，用以于该基板上形成一涂布层；及一控制单元，电连接该气泵、该三通电磁阀及该涂布单元；其中，该控制单元可控制该气泵对于该空气通道进行抽气，使得该空气通道形成负压状态，藉此，该基板透过该等开口受该空气通道吸附固定于该承载台的吸附区。
|
