发明名称 在虚拟量测中使用适应性预测演算法及决定何时使用适应性预测演算法之方法及设备
摘要
申请公布号 TWI509550 申请公布日期 2015.11.21
申请号 TW100105128 申请日期 2011.02.16
申请人 应用材料股份有限公司 发明人 莫尼詹姆斯
分类号 G06Q50/00;G06F19/00 主分类号 G06Q50/00
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种电脑可实施方法,包含一处理器及记忆体,该方法包含以下步骤:识别复数个预测演算法;识别一误差切换临界值,该误差切换临界值系以量测资料的预测和实际的量测资料之间的一比较为基础;决定何时启用一第一适应性预测演算法、一第二适应性预测演算法,或该第一适应性预测演算法和该第二适应性预测演算法二者,以基于该误差切换临界值来预测在一制造设备中的一个或更多个虚拟量测变量;若一误差大于该误差切换临界值时,启用用以更新一第一元素向量的该第一适应性预测演算法,该第一元素向量系一虚拟量测预测方程式的一第零阶项;及接续地启用用以更新该第一元素向量及代表该虚拟量测预测方程式的一矩阵之一第二元素向量的该第二适应性预测演算法,其中该第一适应性预测演算法不同于该第二适应性预测演算法,其中该虚拟量测预测方程式包含一预测输出,该预测输出系基于一输入因子、该第一元素向量、及该第二元素向量。
地址 美国
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