发明名称 具有定幅装置之涂布头
摘要
申请公布号 TWI508785 申请公布日期 2015.11.21
申请号 TW102137822 申请日期 2013.10.18
申请人 旭化成电子材料股份有限公司 发明人 九十九弘
分类号 B05B13/04;B05B15/10;B05B15/04 主分类号 B05B13/04
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种具有定幅装置之涂布头,其系包括以下之涂布头本体(1)及定幅装置(2)者:上述涂布头本体(1)包含涂布液流路(1c)、及连通于该涂布液流路(1c)之涂布液注入口(1d),其中,该涂布液流路(1c)包括由在基材之宽度方向上延设之一对构件所构成且于该等构件间与该基材对向且接近地开口之狭缝部(1a)及歧管部(1b);上述定幅装置(2)至少具备歧管密封单元(2f),其自该涂布头本体(1)之两端或一端,沿该涂布头本体(1)之长边方向(A)而滑动自如地插入至该涂布液流路(1c)内;且该定幅装置(2)之歧管密封单元(2f)系以选自由以下之A、B及C所组成之群组中的一种方式扩张而密封该涂布液流路(1c)之内壁,且改变涂布液之涂布宽度;A:上述定幅装置(2)于上述歧管密封单元(2f)之两端进而包含歧管前端对应单元(2e)与歧管后端对应单元(2g),且该歧管密封单元(2f)系藉由该歧管前端对应单元(2e)与该歧管后端对应单元(2g)间之压缩而扩张;B:上述歧管密封单元(2f)于内部具有空腔部,且藉由该空腔部内之气体或液体之压力而扩张;C:上述歧管密封单元(2f)于内部具有空腔部,且藉由对该空腔部内之气体或液体之加热所产生之热膨胀而扩张。
地址 日本