具有增强结构强度之微机电元件

主权项

一种具有增强结构强度之微机电元件，包含：一微机电结构，包括复数个金属层，具有一最上金属层，该最上金属层包含复数个独立金属段，该些独立金属段于同一高度位阶之间无其他材料设置于其中；以及一电讯号传递线路，位于该微机电结构下方，其中该微机电结构产生电讯号，透过该电讯号传递线路来传递，其中，该复数独立金属段分别藉由至少一支持柱以连接至相邻之金属层，且在该最上层独立金属段与该相邻之金属层之间除了支持柱外，无介电层设置于其中；除该最上金属层外，其余金属层分别藉由至少一支持柱及一介电层而与相邻之金属层彼此连接。