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经营范围
发明名称
利用可剥膜之表面加工方法
摘要
申请公布号
TWI509683
申请公布日期
2015.11.21
申请号
TW102132780
申请日期
2013.09.11
申请人
国立成功大学
发明人
刘瑞祥
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
刘正格 台北市中山区中山北路1段53巷20号之1
主权项
一种利用可剥膜之表面加工方法,包含:于一基板上形成一功能膜;于该功能膜上形成一图案化可剥膜;藉由一蚀刻液蚀刻未被该图案化可剥膜覆盖之该功能膜部分;以及藉由水或一机械力将该图案化可剥膜去除而使该功能膜成为一图案化功能膜。
地址
台南市东区大学路1号
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